Iki şöhleli skaner elektron mikroskopiýasy (DB-FIB) bilen tanyşlyk

Mikroanaliz usullary üçin möhüm enjamlar: optiki mikroskopiýa (OM), iki şöhleli skaner elektron mikroskopiýasy (DB-FIB), elektron mikroskopiýa (SEM) we elektron mikroskopiýa (TEM).Şu günki makalamyzda DB-FIB radio we telewideniýe metrologiýasynyň hyzmat ukybyna we DB-FIB ýarymgeçiriji derňewine ulanylyşyna ünsi jemleýän DB-FIB ýörelgesi we ulanylyşy hödürlener.

DB-FIB näme
Iki şöhleli skaner elektron mikroskopy (DB-FIB), bir mikroskopda gönükdirilen ion şöhlesini we skaner elektron şöhlesini birleşdirýän guraldyr we köp funksiýa ýetmek üçin gaz sanjym ulgamy (GIS) we nanomanipulýator ýaly enjamlar bilen enjamlaşdyrylandyr. çişirmek, material çökdürmek, mikro we nano gaýtadan işlemek ýaly.
Olaryň arasynda fokusirlenen ion şöhlesi (FIB) suwuk galiý metal (Ga) ion çeşmesinden emele gelen ion şöhlesini çaltlaşdyrýar, soňra ikinji derejeli elektron signallaryny döretmek üçin nusganyň ýüzüne ünsi jemleýär we detektor tarapyndan ýygnalýar.Microa-da mikro we nano gaýtadan işlemek üçin nusga ýüzüni çykarmak üçin güýçli tok ion şöhlesini ulanyň;Fiziki tüýdük we himiki gaz reaksiýalarynyň kombinasiýasy metallary we izolýatorlary saýlap almak ýa-da goýmak üçin hem ulanylyp bilner.

DB-FIB-iň esasy funksiýalary we amaly programmalary
Esasy funksiýalar: kesişýän nokatlary kesmek, TEM nusgasyny taýýarlamak, saýlama ýa-da güýçlendirilen efirlemek, metal material çökdürmek we izolýasiýa gatlagy.
Programma meýdany: DB-FIB keramiki materiallarda, polimerlerde, metal materiallarda, biologiýada, ýarymgeçiriji, geologiýa we beýleki gözleg ugurlarynda we önümi synagda giňden ulanylýar.Hususan-da, DB-FIB-iň özboluşly kesgitlenen nokat geçiriş nusgasyny taýýarlamak ukyby ony ýarymgeçirijiniň näsazlyk derňewi mümkinçiliginde çalşyp bolmaýar.

GRGTEST DB-FIB hyzmat mümkinçiligi
Häzirki wagtda Şanhaý IC synag we derňew laboratoriýasy bilen enjamlaşdyrylan DB-FIB, bazardaky iň ösen Ga-FIB seriýasy bolan Termo meýdançasynyň Helios G5 seriýasydyr.Bu seriýa 1 nm-den aşakda elektron şöhlelendiriş çözgütlerini skanirläp biler we iki şöhleli elektron mikroskopiýanyň öňki nesline garanyňda ion şöhleleriniň öndürijiligi we awtomatlaşdyrylyşy taýdan has optimallaşdyrylýar.DB-FIB dürli esasy we ösen ýarymgeçirijiniň näsazlyk derňewiniň zerurlyklaryny kanagatlandyrmak üçin nanomanipulýatorlar, gaz sanjym ulgamlary (GIS) we energiýa spektri EDX bilen enjamlaşdyrylandyr.
Ondarymgeçirijiniň fiziki eýeçiliginiň näsazlygyny derňemek üçin güýçli gural hökmünde DB-FIB nanometr takyklygy bilen kesgitli nokat kesiş işlerini ýerine ýetirip biler.FIB gaýtadan işlemegiň şol bir wagtyň özünde, nanometr ölçegli skaner elektron şöhlesi kesişleriň mikroskopik morfologiýasyny synlamak we kompozisiýany hakyky wagtda seljermek üçin ulanylyp bilner.Dürli metal materiallaryň (wolfram, platina we ş.m.) we metal däl materiallaryň (uglerod, SiO2) çökmegine ýetiň;TEM ultra inçe dilimleri, atom derejesinde ultra-ýokary çözgüt synlamagyň talaplaryna laýyk gelýän kesgitli nokatda taýýarlanyp bilner.
Öňdebaryjy elektron mikroanaliz enjamlaryna maýa goýmagy dowam etdireris, ýarymgeçirijiniň näsazlyklaryny seljermek bilen baglanyşykly mümkinçilikleri yzygiderli gowulandyrarys we giňelderis, müşderilere jikme-jik we hemmetaraplaýyn näsazlyk derňew çözgütleri bilen üpjün ederis.